火焰射流反应沉积(关于火焰射流反应沉积的简介)

皇甫仁风
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1、 火焰射流反应沉积,又称火焰法。

2、在火焰射流中进行化学反应以制取表面覆盖层的工艺方法。

3、它在分类上应归入热化学气相沉积(TCVD)。

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