导读 大家好,热丝化学气相沉积,关于热丝化学气相沉积的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 热丝化学气相沉积是指用灼热钨丝
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1、 热丝化学气相沉积是指用灼热钨丝加热分解碳物质,激活化学气相反应,制备金刚石膜的工艺方法。
2、这种方法的特点是设备简单,工艺条件较易控制,金刚石膜生长速率比化学输运法快,因而很快在全世界的金刚石膜研究中得到广泛应用,成为制备金刚石膜的主要方法之一。
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